沈IC零部件加工登上装备制造业的颠峰

 由中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司和沈阳先进制造技术产业发展有限公司联合承接的大型平板显示器高精密零部件的试加工件一次性通过美国应用材料公司的各项检测，所有技术指标全部检验合格。11月24日，4块大型平板显示器高精密零部件已运抵大连，从大连出口。这是我国第一次成功承接国外知名IC（集成电路）装备制造企业的零部件转包业务。

　　IC装备制造业是装备制造行业中科技含量最高的产业，被业内人士称为装备制造业的珠穆朗玛峰。2002年，为实现用高新技术改造传统产业的战略目标，沈阳市在全国率先提出了发展IC装备制造产业的构想。经过3年的发展，沈阳在国家级高新技术产业区———浑南新区，以零部件加工和子系统产品加工为突破口，并加强同海外华人的经济技术交流，不断吸收、消化国际先进技术，使浑南的IC装备制造业迅速起步，目前正在形成两大IC装备制造业集团，一个是以沈阳新松机器人有限公司、沈阳芯源先进半导体技术有限公司、中科院沈阳自动化所为核心的IC生产厂晶片处理、传送自动化装备企业集团；一个是以中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司为核心的真空、成膜设备企业集团。沈阳的IC装备制造产业已经形成了从零部件和子系统加工，到单元和整机制造的全面发展格局，产业集群已初见雏形。

　　今年初，沈阳市同美国应用材料公司签订了试加工4块大型平板显示器高精密零部件的合同，美国是国际IC装备制造业的龙头，其产品涵盖了IC生产线所需60%以上的设备品种，对零配件的加工技术要求近乎苛刻，此前我国其他一些地区的企业也曾尝试承接该项目，但加工出来的产品均未合格。为拿下这个项目，浑南新区投资80万元作为科技创新基金，中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司和沈阳先进制造技术产业发展有限公司共同组织科研人员进行技术攻关，终于攻克了环形燕尾槽和细长空两项技术难关，在两个月的时间里，技术攻关组成员与沈阳飞机制造有限公司、沈阳黎明航天发动机有限公司的科研人员一起分析、解决具体技术问题，并在沈阳鼓风机集团、沈阳机床集团有限公司等大企业的支持下，由沈阳的技术工人进行实际操作，按时完成了4块大型平板显示器高精密零部件的加工。该部件经88项人工检测和116项设备检测，各项指标全部检验合格，定期交货。

　　此次加工项目的高质量完成，是沈阳老工业基地的人才优势、技术优势、装备优势的展现，并为吸引国外知名IC装备制造大公司进驻沈阳提供了配套优势。目前，美国应用材料公司正在同沈阳洽谈新的合作项目。